主動抵消干擾磁場系統.电镜用电磁屏蔽系统
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发表日期：2015-09-03
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提升ＳＥＭ・ＴＥＭ，以及應用電子束的精密測量儀・加工機的穩定性
對干擾磁場産生補償磁場，立刻衰減干擾磁場數位控制器和Helmholtz線圈系統産生與干擾磁場相反方向的磁場，抑制磁場的變動，防止受到不好的影響。先進的Hybrid控制範圍可以從DC到約10kHz的頻帶領域，讓干擾磁場降低最大50dB的幅度。主動抵消干擾磁場系統可以保護電子顯微鏡或核磁應用裝置，不受干擾磁場的影響，以便發揮裝置原有的性能。
■ 單純卻高性能控制器
實行DSP控制的控制器有RS232 ANSI，只要連接電腦，就可以設定各種參數。交貨安裝時，用標準附件軟體調節，不需要準備任何事情，如其他測量工具等（調節後不需要連接電腦）。將DSPVC33當做總機(host interface)，DC與AC的２個控制系統加起來算後傳送給放大器，創出Helmholtz線圈框的出力信號。
可以客製製造線圈框
Helmholtz線圈框可以按照對象儀器設計，製造最適合的形状來提供。 
■ 應用範圍
掃描型／透過型電子顯微鏡（ＳＥＭ、ＴＥＭ）
聚焦離子束（ＦＩＢ）
電子束描畫・露光裝置（ＥＢＬ）
核磁共振裝置（ＮＭＲ／ＭＲＩ）
電子自旋共振裝置（ＥＳＲ）
質量分析裝置（ＭＡＳＳ）
腦磁圖儀（ＭＥＧ）
其他易受干擾磁場影響的電子束應用裝置 
