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技术资讯

图1 SEM加振振动试验下试样的边际部的观察 把SEM本体搭载到加振装置上,用1 ^-530Hz的正弦波扫描加振的同时对试 样的边际部进行了偏光摄影。如果被正确观察的话,照片的黑/白的边界

【事例】 由于外来振动电子显微镜图像偏移 【对策要点】 根据装置的振动分析明确其弱点并作为装置改造的方针 原因 SEM图像中看到振动的影响没能得到鲜明的图像。为了调查其原因

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【事例】 在企业的测量室内设置扫描型电子显微镜时,因为设置场所地基松 软靠近铁路,投入主动减振台后得到了好结果。 【对策要点】 设置扫描型电子显微镜时,把握装置振动的特

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菲佐型干涉仪系统的减振对策 【事例】 用主动型的减振台来实施受到几Hz带域的低频率振动的影响 的〔菲佐型干涉仪系统〕的振动对策 【对策要点】 被动型的减振台有因为其固定振动

超高真空室内的STM(扫描型隧道显微镜)的减振事例 【事例】 STM有必要在超高真空环境下使用时,至今一般只有对真空室整体 进行 减 振的方法,但为了减小真空室本身的振动特性的影响

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