电子显微镜的隔振对策（1）_光学平台厂商定制.技术资讯
【事例】
由于外来振动电子显微镜图像偏移
【对策要点】
根据装置的振动分析明确其弱点并作为装置改造的方针
原因
SEM图像中看到振动的影响没能得到鲜明的图像。为了调查其原因，把装置搭载到振动
试验器上后查找给予影响的振动频率的同时，进行装置架体的模态分析并调查结构上的弱点。
对策
在精密仪器的振动分析中，加振振动试验，或者模态分析是有效的。以下是对扫描型电
子显微镜(以下，略称SEM)进行加振振动试验和SEM镜筒部位的模态分析结果。
加振振动试验是将SEM整体搭载到加振装置上，边从低处向着高处扫描频率值边给予正
弦波振动，同时收集SEM图像。观察对象是预先选择的知道形状的试验料的边界。
边界的分界线必须被观测到成直线，但受到振动的影响图像混乱不能观测到直线。如果
边改变频率值边给予SEM能使振动加速度能保持几乎一定水准的振动加速度，可以知道达到
某个频率值时边界的图像会产生很大的混乱。(图1)
还有，如果对镜筒部进行模态分析的话，在286Hz处找到了一次性的振动模式。与刚才产
生边界图像混乱的频率值的一方有着同样的频率值。这结果，可以判明由于在那频率值下镜
筒部发生屈曲引起振动，没有对到从镜筒最上部的电子枪发射的电子线所瞄准的部位造成边
界图像混乱。
把加振振动试验和模态分析的结果作为装置的改造方针的同时也在选定除振装置中起到
了作用。