电子显微镜的隔振对策（2）_光学平台厂商定制.技术资讯
图1 SEM加振振动试验下试样的边际部的观察
把SEM本体搭载到加振装置上，用1 ^-530Hz的正弦波扫描加振的同时对试
样的边际部进行了偏光摄影。如果被正确观察的话，照片的黑/白的边界(边
际部)应该是成直线的，但受到60Hz附近和280Hz附近的振动的影响，图
像混乱，可以知道没有被正确观察。
图2 SEM镜筒部的模态分析
选择装置的镜筒部上的28个点(图中各框的交点)进行了模态分析。图2显示着
286Hz的1次振动模式。能看到象在摇动镜筒部的顶部一样的振动的状况。
