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针对扫描型电子显微镜的主动除振事例(2) 光学平台设计.技术资讯

 

    图1显示的是除振性能,图2是地面上和显微镜上的加速度时间曲线。在大范围内得到
了除振性能。

 
    图3显示的是金的蒸镀面的观测图像。不使用除振台时得不到鲜明的图像。切断主动功
能后观察到的被动除振的图像,图像鲜明,但能看到在固定振动频率下的晃动。在主动除振
下没有振动的影响,得到了鲜明的图像。