针对扫描型电子显微镜的主动除振事例（1） 光学平台设计.技术资讯
【事例】
在企业的测量室内设置扫描型电子显微镜时，因为设置场所地基松
软靠近铁路，投入主动减振台后得到了好结果。
【对策要点】
设置扫描型电子显微镜时，把握装置振动的特性，事前测定地面振
动后选择适合的除振装置。
原因
设置扫描型电子显微镜时事先测定了设置地面的振动，结果是在上下方向的3Hz以上的
相对较低的频率内有一40dBgal，25Hz内有一30Dbgal的振动。可以判明没有达到非常高精度
的这种电子显微镜的允许范围。
对策
当初讨论了被动减振台进行模拟后并对是否达到允许范围做出了评定，预想到了在固定
振动频率附近不能满足式样要求。根据过去的采用经验进行了使用主动减振台后的运行模拟，
因为确认到了能抑制到比允许范围小得多的振动范围内，所以选择了主动减振台。
主动除振可以装入装置的脚部，但这种电子显微镜是包括架台的一体型，预先植入或改
造是不可能的。并且，因为高度高重心也高，考虑到稳定性，采用了搭载装置整体后进行除
振的平台型。