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菲佐型干涉仪系统的减振台对策(2)光学平台价格.技术资讯



图左:通过用被动型空气弹簧除振装置悬架的菲佐型干涉仪系统测定的直径100mm光学平台。由于低频率振动的影响能观测到成波浪状表面。

图右:通过用我们的主动型空气压控制式除振系统悬架的菲佐型干涉仪系统测定的直径100mm光学平台表面。没有振动的影响能观测到成原来的形状。。
 
 


.图左,及图右,是来自独立行政法人产业技术综合研究所计量标准研究部门长度测量科几何标准研究室主任高迁利之先生拍摄的照片