梅利资精密环境设备科技有限公司

【事例】

  STM有必要在超高真空环境下使用时，至今一般只有对真空室整体

进行减振的方法，但为了减小真空室本身的振动特性的影响，就有

了必要对STM进行直接减振。

 

     原因

    扫描型隧道显微镜(STM)是在1980年代初期，由旧M苏黎士研究所Binnig和Rohrer

发明的。STM从那时开始就与除振有剪也剪不断的关系，我想一定还有很多读者记得刊登在

当时的科学杂志上的带有使用了线圈弹簧和。型圈的特殊除振结构的STM装置的照片。现在，

不仅在大气状态下，也需要能在真空状态下使用的除振装置，因为完成了能满足那需求的一

种方法，在此进行介绍。

   
    对策

    在大气中选定减振台时因为有各种各样的选择方案，所以决断并不是那么困难。但设置
在真空室内并且必须直接搭载STM等的场合会却有几个制约，是个难题。

   第一有【外部气体]的问题。抽真空是为了得到不受来自大气和其他成分影响的环境

防振台本身也不能有外部空气。并且，为了不使实现超高真空环境变得困难，也有必要注

意构成除振装置的材料的选定和加工方法。

      第二是〔热能〕。抽真空时，通常要加热到} oo-r} 5o0c，要求是能经受那温度，而且

除振性能不会发生障碍。在这样的条件下除振装置会成为主要由用不锈钢材料制成的金属
弹簧来构成的产品，但一般使用金属弹簧时，垂直方向的固定振动频率只能降低到3Hz前后，
因此制作能在超低频率振动范围内很好地切断振动的减振台是非常困难的。