精密仪器的防振_超高真空STM的减振事例（2）_光学平台厂商.技术资讯
考虑到以上的情况，采用以上材料并为使在真空室内也能使用而进行了高性能化后开发
出来的是显示在图1中的超高真空环境对应除振装置VNK。具有主弹簧的线圈弹簧和，产生
负刚性的结构，将弹簧类的刚性减小到几十分之一，达到了固定振动频率0. 5Hz。材料全部
由能在超高真空中使用的材料，重新探讨了表面处理，润滑方法，阻尼材料等，使在超高真
空中也能进行STM的除振。这结果，通过1500C的加温，达到了3X10一 9Pa 02X1。一，1T。rr)
的真空度。
以下显示的是实际中使用VNK拍摄到的试验料的硅晶(111)面7X7重新排列结构(Si
(川)7X7)的STM图像。图2，图3分别对应，搭载在VNK上除振后和夹钳固定VNK后
不除振的情况。测定条件是，扫描范围:约30nm X 30nm,隧道电流:50Pa，试验料应用电压:
+2V0