梅利资精密环境设备科技有限公司

コンパクトなボディに6自由度アクティブ除振機構を集約

ME40是从长久历史和开发经验里孕育的防振台系列，内部集成了六自由度的直线电机主动防振台机构，提供了长久以往被动隔振无法实现的振动环境。特别是被日益觉醒的纳米科技所需求的，高精度，高解析度的隔振性能，最大限度地发挥最佳拍档。

■６自由度アクティブ制御
搭載盤および設置面の振動を常時モニタリングし、内蔵のアクチュエータで逆位相の力を加えることで振動制御。3次元（6自由度）でコントロールします。

■軽荷重に特化したLタイプ
小型SPMのような軽量の搭載物でも、除振性能を100％発揮する軽荷重対応仕様を用意しました。

■自動アクティブ調整＆自動レベリング
アクティブ制御に不可欠なゲイン調整は明立精機オリジナルの制御システムにより自動で最適化されます。

■電源のみで動作
使用に必要なユーティリティは電源のみ。コンプレッサーなどの空気源は不要。設置場所、使用環境を選びません。

■アプリケーション
走査プローブ顕微鏡（SPM）、コンフォーカルレーザー顕微鏡、干渉計システム、3次元形状測定機、レーザー変位計システム、その他精密測定・精密加工機。

■振動伝達率データ